报告主题：Modeling, Simulation and Optimization of Pad Conditioning in Chemical Mechanical Planarization (CMP)

报 告 人：李志超美国北卡罗来纳州农业与工程州立大学副教授

报告时间：2014年12月17日上午10:00

报告地点：扬子津校区力行楼S313

主办单位：机械工程学院

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